ABOUT COBALTIX
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一家把"纳米精度"刻进基因的公司
自 2009 年创立以来，锐芯半导体装备始终聚焦半导体制造设备这一高壁垒领域。我们建有 Class 10 超净装配中心 36,000㎡，配备气浮隔振平台、激光干涉标定系统与无尘跑片验证线。
从超精密机械加工到纳米级计量，从整机洁净集成到厂内跑片联调，每一台设备都经过严苛的工艺标准与全流程追溯体系。
国家集成电路专项企业
院士工作站共建单位
320 项授权专利
ISO 9001 / 14001 体系
PRODUCTS
核心装备系列
覆盖光刻运动组件、刻蚀、晶圆搬运、探针台、洁净传输与检测量测六大产品线
CAPABILITIES
四项核心能力
从超精密加工到整机联调，每一环节皆有纳米级工艺保障
01
超精密加工
气浮主轴镜面磨削，平面度 ≤0.3μm，亚微米级形位公差。
02
纳米级计量
激光干涉标定，位移分辨率 0.1nm，全行程误差补偿。
03
洁净集成
Class 10 无尘装配间，颗粒与振动双重隔离控制。
04
整机联调
厂内跑片 500 片验证，良率与节拍指标达标后交付。
28条在服晶圆产线
500+研发工程师
320项授权专利技术
99.6%整机出厂良率
